Les déviations sont mesurées à l'aide de transformateurs différentiels à variation linéaire (LVDT) de haute résolution. La tête LSP-S4 supporte tous les modes de palpage standard, tels que le palpage point à point, l'autocentrage et le scanning continu de haute vitesse pour mesures rapides et précises de formes et de profils.
Comme toutes les têtes de mesure Leitz, le modèle LSP-S4 assure un palpage simultané, sans fixation, dans tous les axes, toujours perpendiculairement à la surface. Il permet ainsi une bonne compensation de toute déviation.